第413章 万兴刚想出改进的办法

    阉割版的出口光刻机，全部采用石英透镜。
    石英有良好的光学性能，化学性能也很稳定，光科技运转的时候，能保证紫外光传输稳定。
    。
    石英透镜技术，早在五十年代就出现了。
    鉴于制造技术，石英透镜多为球形或圆柱形，加工简单，能保证加工精度。
    实践中。
    也有人把石英透镜制造成非球面形状。
    用在一些精度需求不高的地方。
    光刻机精度要求高。
    只有球面和柱形石英透镜才能满足精度要求。
    石英透镜技术从五十年代出现，一直用到七十年代，中间有多次改良，改良幅度都不大。
    仍然是以球面和柱状为主。
    石英透镜制造简单，缺点也“零六零”
    十分明显。
    首先。
    使用石英透镜，容易引起球差、慧差和像散等光学问题，这些问题会造成成像失真，影响光刻机性能。
    限制了芯片精度。
    同时。
    因为石英透镜是球面状的，或者是柱状的，造成焦点深度相对较浅。
    焦点深度和清晰成像范围成正比，焦点深度越浅，精细成像范围越小，限制了光刻机的性能。
    其次。
    石英透镜工艺局限和设计局限，限制了它的最小加工精度。
    是用石英透镜，最小精度都是微米级。
    除非有革命性的加工工艺进化，或者换一种材质的透镜。
    否则。
    加工精度突破不了微米。
    第三就是加工精度限制。
    石英透镜表面是圆形的，或者是援助型的，看起来很圆滑。
    实际从微观角度观察，很难做到标准的圆。
    肉眼看不出来，因为肉眼的精度有限，可一旦用在光刻机上，精度到微米级别，影响就很大。
    会导致成像不稳定，导致光学畸形。
    出口的阉割版光刻机，用的都是石英透镜，因为成像不稳定和光学畸形，废品率就会很高。
    废品率高。
    成本分摊到成品上。
    造成芯片的成本普遍偏高。
    第三是石英的光学折射率相对较高。
    折射率高，就会产生折射效应和衍射效应，会造成成像模糊，在一定程度上影响精度。